镓液态金属离子源是重要的高亮度离子源之一,目前它在聚焦离子束微细加工、显微、质谱分析等领域中应用很多。但是,制作实用、发射稳定、寿命长的镓离子源却很困难。离子源的特性决定聚焦离子束的性能,从而决定微细加工和微区分析的精度,所以研制稳定发射的镓液态金
 
我们公司生产可供聚焦离子束装置用的镓液态金属离子源。该离子源的亮度高、发射源尺寸极小、发射电流稳定、调节方便、没有气体负载,适用于各种超高真空装置,是进行微离子束技术和表面分析技术开发性研究的关键部件之一。使用时间3000小时。
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