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1.提高芯片性能
判断芯片性能的一种通用方式就是速度，器件做得越小，在芯片上位置放置的越紧密，芯片的速度就会提高，而如何加快芯片的速度呢？关键在于使用材料上，而关于使用材料上又涉及几个关键参数。关键尺寸（即芯片的特征尺寸），每块芯片上的元件数，减小半导体器件尺寸，功耗
2.提高芯片可靠性
芯片可靠性致力于趋于芯片寿命的功能的能力，通过硅片检测和芯片测试以验证可接受的性能
3.降低芯片成本
半导体芯片的价格一直在持续下降，除了减小特征尺寸和增加硅片直径以便将更多芯片放在一个硅片上的这些因素有助于价格降低外，还有CD尺寸减小的尺寸，半导体产品市场大幅度增长。
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